Доступны целевые степени чистоты ниобия MH
99,95% (4N) ниобиевая мишень
● Сверх-высокая чистота с чрезвычайно низким содержанием металлических и газообразных примесей.
● Стабильная плазма, низкий уровень образования частиц.
● Подходит для пленок полупроводников, сверхпроводников и высококачественной-электронной пленки.
99,9% (3N) ниобиевая мишень
● Высокая чистота и превосходное соотношение цены и качества.-
● Надежная стабильность при распылении для промышленных покрытий.
● Подходит для общих электронных, оптических и функциональных покрытий.
Целевые формы MH-ниобия
Мы поставляем ниобиевые мишени различной геометрии для соответствия различным системам распыления:
Прямоугольная/квадратная мишень
● Системы планарного напыления
● Катоды магнетронного распыления
● Равномерное осаждение пленки на большой-площади.
Трубчатая мишень
● Системы ротационного напыления
● Более высокий целевой коэффициент использования.
● Улучшенная однородность покрытия и эффективность производства.
(Нестандартные размеры и варианты склеивания доступны по запросу.)
Целевой диапазон спецификации ниобия MH
|
Чистота |
99.9%, 99.95% |
|
Плотность |
Больше или равна 99,9% теоретической плотности. |
|
Зернистая структура |
Тонкий и однородный |
|
Поверхностная обработка |
Ра0.4 |
|
Прямоугольная/квадратная мишень |
Длина меньше или равна 3000 мм, ширина меньше или равна 800 мм, толщина (мм) 1–20 мм. |
|
Трубчатая мишень |
Внешний диаметр 10-400 мм, стенка 2-28 мм. |
99,95% против 99,9% – Руководство по выбору
|
Элемент |
Целевой уровень 99,95% Nb |
Целевой уровень 99,9% Nb |
|
Уровень чистоты |
Ультра-высокая чистота (4N) |
Высокая чистота (3N) |
|
Содержание примесей |
Чрезвычайно низкий |
Низкий |
|
Качество фильма |
Высочайшая однородность и стабильность |
Стабильный, промышленный-класс |
|
Генерация частиц |
Минимальный |
Низкий |
|
Типичные применения |
Полупроводники, сверхпроводящие пленки, НИОКР |
Оптические покрытия, функциональные пленки, массовое производство |
|
Уровень затрат |
Выше |
Более экономичный |
Прямоугольная и трубчатая мишени – Руководство по выбору
|
Сравнение |
Прямоугольная/квадратная мишень |
Трубчатая мишень |
|
Совместимость процессов |
Планарное распыление, магнетронное распыление |
Цилиндрическое распыление |
|
Использование материалов |
20%~30% |
70%~85% |
|
Стоимость закупок |
Умеренный |
Гораздо выше, чем тарелочные мишени |
|
Эффективность производства |
Небольшие партии, разнообразные-покрытия |
Большие партии и сплошные покрытия |
|
Обработка поверхности |
Тонкое шлифование и полировка |
Тонкое измельчение, более сложное |
|
Предлагаемые материалы |
Чистый ниобий (99,95%), Nb-1Zr |
Ниобий чистый (99,95%), Nb-1Zr (высокотемпературный специального назначения) |
Типичные области применения ниобиевой мишени MH
Полупроводниковые тонкие пленки
Сверхпроводящие ниобиевые покрытия
Оптические и декоративные покрытия
Дисплей и электронные устройства
Исследовательские и передовые функциональные фильмы
Почему стоит выбрать мишени из ниобия MH
● Высокая чистота и стабильная производительность распыления.
● Однородная микроструктура и высокая плотность.
● Доступны различные геометрии: прямоугольная и трубчатая.
● Нестандартные размеры и решения для склеивания
● Проверенное использование в современных покрытиях.
Наши ниобиевые мишени для распыления обеспечивают надежную чистоту, стабильные характеристики распыления и высокое-качество пленки для требовательных применений с тонкими пленками.
MH Niobium Target Производство по индивидуальному заказу
Мы предлагаем индивидуальные решения для ниобиевых мишеней, в том числе:
● Не-нестандартные размеры.
● Жесткий контроль допуска.
● Специальная обработка поверхности
● Технические требования-специфического приложения.
Пожалуйста, предоставьте чертежи или подробные спецификации для оценки.
горячая этикетка : ниобиевая мишень, Китайские производители ниобиевых мишеней, поставщики, завод, Нб-752, ниобий, Стержень из ниобия, Листовая пластина из ниобия
